"1.XY方向扫描范围:不小于50μm × 50μm; 2.Z方向扫描范围:>6μm;3.扫描分辨率:XY: ≤0.2nm; Z: ≤0.2nm;4. QCL激光光源波长范围950-1900cm-1,光谱分辨率优于1cm-1,光斑小于2.5mm,可同时实现散射式扫描近场显微镜(s-SNOM)和纳米红外功能;5. 纳米化学成像空间分辨率优于10nm。"
由扫描近场光学显微镜、纳米红外、扫描热显微镜模块组合而成的扫描近场纳米红外分析系统不仅可以揭示样品的化学组成,还可以对样品的局部形貌、机械性能、热学性能进行高分辨率表征。能够对各种微细结构、半导体结构、生物样品、量子器件进行纳米尺度分辨率的成像和光谱分析。由于采用AFM针尖作为散射源,近场光学的分辨率仅由AFM针尖的曲率半径决定,与入射光源的波长无关,空间分辨率可达10nm,可以在纳米尺度下揭示材料的化学组成。
无
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