仪器列表
主要规格及技术指标
场发射扫描电镜主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，检测器包括Top（带能量过滤功能）、Upper和Lower三个二次电子探测器，背散射电子检测器，STEM 检测器。样品交换仓配备等离子清洗装置（Plasma XEI），配备牛津无窗能谱仪（Ultim EXTREME）。
SE分辨率 15KV：0.6nm (工作距离4mm)，1KV：0.7nm（工作距离1.5mm，减速模式）
BSE分辨率 15KV：3nm
STEM分辨率 30KV：0.8nm，加速电压：0.01 ~ 30kV
放大倍数：20-2，000，000倍
电子枪类型：冷场发射电子枪
探测器：具有Top（带能量过滤功能）、Upper和Lower三个二次电子探测器，顶位探测器可选择接收二次电子像或背散射电子信号，高位探测器可选择接收二次电子或背散射电子信号，并以任意比例混合。在低压下（小于1kV）可以得到背散射电子图像。背散射电子检测器，接受背散射电子信号。STEM 检测器，测试BF/DF/HAADF像
能谱仪：探测器：无窗型斜插电制冷探测器；能量分辨率：Mn Kα保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98，元素分析下限: Li3
主要功能及特色
扫描电子显微镜是用于试样的显微形貌观察及微区成分分析的必备手段，其特点是景深长，图像层次丰富，立体感强，样品制作简单，不必作超薄切片。该设备是一台高分辨冷场发射扫描电镜，其分辨率为0.6nm（15kV），配置了SE/BSE/STEM探头，以及牛津的无窗能谱仪，可以进行表面形貌观察，微区成分分析，也可以进行STEM分析，可以得到高分辨成分像。
主要附件及配置
探测器：Top（带能量过滤功能）、Upper和Lower三个二次电子探测器，背散射电子检测器，STEM 检测器；
样品交换仓配备等离子清洗装置（Plasma XEI）；
牛津无窗能谱仪（Ultim EXTREME）。
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 西湖大学 访问量: 58288680 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司