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X射线光电子能谱
仪器编号
LHA19100034
规格
生产厂家
Thermo Fisher
型号
ESCALAB Xi+
制造国家
中国
分类号
010104
放置地点
云谷E10-B107
出厂日期
2019-10-22
购置日期
2019-10-22
入网日期
2019-12-27
主要规格及技术指标
1、单色化AlKαX射线源，XPS能谱分析尺寸20-900um，平行成像精度1um；
2、双极性半球形分析器，可采集ISS离子散射谱；
3、配备同轴/离轴双电子枪，可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量；
4、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀，可用于不同敏感性材料的深度剖析；
5、配有反射电子能量损失谱（REELS）,可用于氢元素的定量分析；
6、配有俄歇光电子能谱分析（AES），空间分辨率可达95nm，并能够实现相应的形貌表征功能（SEM）。
主要功能及特色
主要功能及特色：
1、该系统通过测量不同元素的芯能级，能够实现高精度的元素和价态分析。
2、该系统使用X-射线作为光源，能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据，实现对材料电子结构的完整表征。
3、该系统具备微区分析功能，可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析，是目前观测薄膜样品元素和价态分布，进而探索其生长机理最有力的工具之一。
测试项目：
1、元素定性分析
2、元素定量分析
3、价态分析
4、微区组分和电子结构分析
5、深度剖析
6、H元素定量分析
7、形貌表征
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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