仪器列表
主要规格及技术指标
温度范围：基础温度5.5K，温控范围6-350K（四个臂）
制冷时间：室温到10K以内1.5h，从最低温到室温1h，
温度稳定性：±50mK（＜10K），±10mK（10K—250K），±20mK（＞250 K）
加热器温度控制：样品台100W，二级冷头50W，一级冷头200W，监视探针臂温度
系统震动指标：样品台振幅（X, Y, Z轴）＜1μm
探针臂行程及分辨率：X轴51 mm（2 inch），20 μm分辨率；Y轴25mm（1 inch），10μm分辨率；Z轴18 mm（0.7 inch），10 μm分辨率
系统真空指标：制冷前抽到10-3 Torr，需要20分钟；腔体体积8.7升；r
显微镜光学分辨率：4 μm
主要功能及特色
美国 Lake Shore CRX-4K探针台是不需要低温制冷剂的探针台，它可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)。它可以对材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。一般来讲，纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在CRX- 4K进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。
主要附件及配置
使用Sumitiomo 公司的4K闭循环制冷机，不需要消耗液氦和液氮，CRX- 4K的温度变化范围4.5K到350K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器，可以提供快速的热响应，快速迅速回到室温，样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。系统采用了精心的设计来减低振动，采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能。在全量程温度范围内，样品的振动小于1um ( X, Y, Z轴)。安装了4个可以进行微调整的探针臂，每个探针臂上的探针都可以进行3维方向上的定位。微波探头可以±5°旋转，使样品可以更好的和探针匹配。DC探针低噪音，低漏电流，热接触好。RF探针可以频率到67GHz.，光线可以从窗口入射，也可以通过光纤导入。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性。每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。
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