大型仪器共享管理系统

1、光源：3kW封闭Cu靶线焦斑光源

2、HR Optics：Gobel Mirror平行光，2次反射单色器ACC2(Ge022),4次反射单色器ACC4(Ge022)，0.05mm-1mm UBC准直器。
ACC2分辨率可达0.0082°。ACC4分辨率可达0.0061°，ACC2+ACC2分析晶体分辨率可达0.0044°，ACC4+ACC2分析晶体分辨率可达0.0038°。

3、样品台：
1）5轴尤拉环样品台Centric Eulerian Cradle (CEC)：
x、y：+/- 40 mm样品移动；
z：高度对准；
Phi：360°旋转;
Psi：-11°-98°;
提供5"真空吸盘及各种样品台附件。
2）带KEC的倾斜样品台Tilt Stage with KEC：电动Zeta/Xi

4、Pathfinder Plus Optics：包含电动狭缝，2-b Ge分析晶体，集成自动吸收器。

5、EIGER2 R 250K探测器：EIGER2可高效支持各种数据采集策略，允许用户获得每种样品类型的最佳衍射数据：
0D模式适用于粗糙表面、多晶涂层和外延膜样品
1D模式适用于粉末超快速扫描，采用反射（Bragg-Brentano）或透射衍射几何进行测量，以及用于外延膜倒易空间图谱
2D模式适用于少量样品、择优取向或大晶粒材料，用于微测图以及用于应力和织构分析。

6、ATLAS测角仪：业界领先的角度精度：在NIST SRM 1976确定的整个角度范围内，保证±0.007°2θ，无缝集成D8系列组件：包括光学器件、双激光定位单元、定位摄像头、样品台、探测器技术。

7、非共面臂：第三测角仪轴，用于研究超薄层和面内样品特性：最小步长：0.001°；最高2θ范围（取决于配置）：160°；探测器自动距离检测。

主要功能及特色

主要功能：
1、高分辨率XRD、摇摆曲线rocking curve、面外对称2theta-omega、斜对称2theta-omega、phi scan、倒易空间mapping（RSM）、快速RSM分析

2、X射线反射法、掠入射衍射（GID）、面内衍射、GISAXS、GI应力分析、晶体取向分析

3、残余应力分析、织构和极图、微区X射线衍射

特色功能：
1、薄膜共面及非共面掠入射分析：
1）在共面实验中，射线源和探测器相对于样品表面的角度有所加大，因此探测角度是进入样品表面的。
掠入射衍射（GID）：晶相表面灵敏识别及结构性质测定，包括微晶尺寸和应变。
X射线反射法（XRR）：用于提取从简单的基底到高度复杂的超晶格结构等多层样品的厚度、材料密度和界面结构信息。
掠入射小角X射线散射（GISAXS）

2）在非共面实验中，射线源和探测器相对于样品表面的角度是固定的，检测器以平行于样品表面的方向移动，因此探测方向是沿着样品表面的。
面内掠入射衍射（IPGID）：可将穿透深度减至nm，从而实现表面隔离并提高对具有原子厚度的层的灵敏探测。
多晶IPGID可测定面内晶粒尺寸
外延IPGID可直接测定面内晶格参数和面内取向。

主要附件及配置

1、配置Gobel miroor、2次反射单色器ACC2(Ge022)、4次反射单色器ACC4(Ge022)，只保留Kα1单色光、提高分辨率。

2、5轴尤拉环附带5"真空吸盘样品台，电动倾斜台可精确对准表面。

3、Tilt Stage with KEC额外提供Zeta/Xi两个自由度，具备0.000001°超高分辨率，满足特殊受限或未知样品分析。

4、Pathfinder Plus Optics可在电动狭缝和分析晶体之间全自动地进行电动切换，无需人工干预。其中使用分析晶体达成三轴晶衍射，进一步提高分辨率。同时集成了自动吸收器，确保了测得数据的线性。

5、EIGER2探测器在分步扫描、连续扫描和高级扫描模式种无缝集成0D、1D和2D检测。符合人体工程学的免对准探测器旋转功能，可优化γ或2Ɵ角度范围。使用完整的探测器视野、免工具全景衍射光束光学系统。连续可变的探测器位置，以平衡角度范围和分辨率。

主要规格及技术指标

主要功能及特色

主要附件及配置